摘要
光吸收器作为一种能够有效捕获和吸收特定波段电磁波的功能器件，在太阳能电池、光电探测、热辐射控制等领域展现出巨大的应用潜力。
近年来，随着微机电系统（MEMS）技术的飞速发展，基于MEMS的主动调节光吸收器以其结构紧凑、调控灵活、性能优异等优势，成为该领域的研究热点。
本文首先介绍了微机电系统和光吸收器的基本概念，并对主动调节光吸收器的研究背景和意义进行了阐述。
然后，重点综述了主动调节光吸收器的研究现状，详细介绍了不同类型MEMS驱动机制、结构设计以及材料选择的最新进展，并对各种方案的优缺点进行了比较分析。
此外，本文还探讨了主动调节光吸收器在不同领域的应用，并展望了其未来发展趋势。
关键词：微机电系统；主动调节；光吸收器；超材料；可调谐
随着社会的发展和科技的进步，人们对能源、信息等方面的需求日益增长，这也促使了光电子器件的快速发展。
光吸收器作为一种重要的光学元件，能够有效地吸收特定波段的电磁波，在太阳能电池、光电探测、热辐射控制、隐身技术等领域具有广泛的应用前景[1]。
微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS）是一种将微电子技术与机械技术相结合的制造工艺，其特征尺寸通常在微米到毫米之间[2]。
MEMS技术能够在微观尺度上实现对结构和材料的精确控制，从而实现器件的小型化、集成化和智能化。
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