纳米薄膜的制备及表征
摘 要：本文介绍了薄膜的种类、制备方法以及制备特定纳米结构的薄膜的方法。在调研了由聚苯乙烯球点阵排列构成的单层胶体晶体模板的实验现状的基础上，本文拟采用气液界面法来制作单层胶体晶体模板。
关键词：薄膜；纳米图案；单层胶体晶体模板；气液界面法
- 引言
随着高新产业快速发展，薄膜产品被广泛地应用于诸如半导体技术、光学、电子元件等领域。因此，薄膜制备及其物性研究成为了当前的一个研究热点。而具有特定纳米结构的薄膜往往在广泛的应用领域中发挥着不同的作用，从半导体，等离子体，光子学和传感器到场发射器和生物医学。
（1）薄膜制备方法
1．物理气相沉积
物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）中只发生物理变化，不包含化学反应。常用的物理气相沉积包括真空蒸发，分子束外延是一种需要在超高真空的条件下缓慢进行的制备薄膜的方法，溅射法也是物理气相沉积方法的一种。
真空蒸发一般是在高真空的镀膜机内进行的，把物质材料直接通过电阻丝加热蒸发到固体表面，然后凝结形成新的固态膜的方法。真空蒸发所需要的设备比较简单、操作容易，而且制成的薄膜纯度比较高、质量也比较好，制作过程中厚度也可控。
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