文献综述
研究现状及发展趋势
现阶段燃料电池广泛应用于航天航空领域，电动汽车，医学，便携式电子器件等，MEMS 器件主要包括传感器、执行器、微能源等，传感器较为成熟，执行器和微能源多处于起步阶段，随着人们对于电子产品种类功能，便携性的更高要求，以及未来社会对于清洁动力的需要，促使为了燃料电池的进一步发展与拓展，MEMS燃料电池有更广的应用和市场前景。
研究意义与价值
随着电子技术与集成电路技术的越来越成熟，人们对于器件的“心脏”电池的要求更加严格，更强的续航能力，更好的便携性，更安全的设计成为未来发展的趋势。
参考文献
[1]MEMS微型燃料电池[J]. 刘晓为,张博,张宇峰等化学进展.2009(09)
[2]利用MEMS制作微型便携燃料电池[J]. 高士.电子产品世界.2008(01)
[3]MEMS微型燃料电池及其基于压电风扇的换气方法[J]. 杨兴,周兆英,叶雄英等微纳电子技术.2003(Z1)
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