1.文献综述
1.1 国内外研究现状
形貌干涉测量算法有相移干涉算、时域调制度算和空间频域算。其中时域调制度算法和空间频域算法都属于白光干涉形貌测量算法。
相移干涉算法是通过人为地改变两相干波面的相对相位，比较干涉场中同一点在不同相移量下的光强值来求解该点相位，进而进行表面形貌恢复。时域调制度算法是提取干涉信号的包络曲线来寻找光强极大值点（零光程差点），进而确定零级条纹位置并恢复表面形貌。此算法计算量大，易受背景噪声干扰，对采样间距要求高。空间频域算法是通过分析干涉信号的频谱相位信息来恢复表面形貌。空间频域算法计算效率高，只需合适的采样就能获得可靠的频谱成分，可在一定程度上抑制背景噪声。
1.2 国外研究现状
1966年，Carreacute;提出了基于时间相移法的单色光相移干涉。1974年，Burning首先将其应用于光学检。上世纪八十年代开始，具有实际应用意义的单色光相依干涉系统被开发出来。典型的单色光相依干涉系统如图1所示。
图1 单色光相依干涉系统
单色光相移干涉术的基本思想是：物体表面的反射光与干涉物镜的参考光发生干涉，得到干涉条纹后经相移方法对其相位进行调制，通过干涉场中光强值的变化计算每一点的初始相位进而求出表面形貌。单色光相依干涉术具有以下优点：测量速度快，分辨力高，可见度对测量影响不大，对背景光强不敏感。但是由于存在相位模糊问题，限制了单色光相移干涉术的应用，只能应用于光滑表面或连续。
1983年，Schwider和Burow提出可以使用平均技术有效减少由移相器步长误差所带来的相位计算。1987年，Hariharan提出了5帧相移。1993年，Surrel提出了一种自校准的相依测量。2000年，Groot以采样窗理论为基础，利用13帧相移法研究了透明结构的。
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