摘要
固体波动陀螺仪(HemisphericalResonatorGyroscope,HRG)作为一种新型陀螺仪，具有高精度、高可靠性、长寿命等优点，在航空航天、导航制导等领域有着广泛的应用前景。
而机械品质因数(QualityFactor,Qfactor)是衡量谐振器性能的关键指标之一，直接影响着陀螺仪的精度和分辨率。
本文首先介绍了固体波动陀螺和机械品质因数的相关概念，然后回顾了半球谐振子机械品质因数测量方法的研究现状，包括衰减法、频域分析法和激光多普勒测振法等。
接着，本文重点综述了近年来国内外学者在提高半球谐振子机械品质因数方面取得的成果，分析了不同材料、结构、工艺对机械品质因数的影响，并对各种测量方法的优缺点进行了比较。
最后，对半球谐振子机械品质因数测量技术的发展趋势进行了展望。
关键词：固体波动陀螺；半球谐振子；机械品质因数；测量方法；文献综述
近年来，随着微加工技术的发展，微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)谐振器以其体积小、成本低、易于集成等优点，在传感器、滤波器、振荡器等领域得到了广泛应用[1-3]。
而机械品质因数(QualityFactor,Qfactor)是衡量谐振器性能的关键指标之一，它表示谐振器储存能量的能力与能量损耗的比率[4]。
高Q值谐振器具有更高的灵敏度、分辨率和稳定性，因此在高性能MEMS器件中具有重要的应用价值。
固体波动陀螺仪(HemisphericalResonatorGyroscope,HRG)是一种基于科氏力效应的新型陀螺仪，其核心部件是高Q值的半球谐振子[5]。
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