文献综述
1课题背景与意义近些年来，工业化进程持续加速，现代生产、科学都在快速地往细小的、高精度的方向发展。
近年来微纳米技术的兴起，引发了一场往高精度方向的革命，主要体现在以下一些领域中：（1）微型制造与精密加工（2）生物细胞工程（3）医疗科学（4）扫描隧道显微镜与扫描探针显微镜（5）光学调整目前，高精度、高分辨率的精密运动的设备在现代前沿科技研究中显得至关重要。
国际上各个国家纷纷加大对高精度、高效率和低成本的运动平台的研制。
由此可见，高精度三轴运动平台已经成为前沿科学和工程技术的关键性技术[1]。
现在我国在这方面的研究跟一些发达国家比起来还比较落后，因此通过自我探索，突破对三轴运动平台核心技术的枷锁就显得尤为重要。
在高精度设备中，高精度运动平台主要负责实现设备的高精度运动[2]。
现在主要有一维的、二维的和三维的运动平台，然而如今对三维空间中的高精度运动要求是已经是一维和二维的运动平台所不能满足的，所以，高精度三轴运动平台已经成为了高精度运动平台的主要研究方向[3]。
1国内外三轴运动平台的研究现状高精度的三轴平台作为其中的最关键的设备，无论是在科学研究过程中，还是在如今的现代工业生产中，都起到至关重要、无可替代的作用。
以色列、日本、韩国、德国等一些科学技术比较领先的发达国家在对高精度运动平台的研究倾注了大量的精力，与此同时中国对高精度运动平台的探索在最近的这段时间里也获得了及其显著的成果。
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