文 献 综 述
摘要：微测辐射热计具有系统简单、成本低的优点,是非制冷红外探测器中最主要的产品形式，在民用以及军事领域有着广泛的应用。微桥是微测辐射热计阵列像元的重要部分,它对像元的光学、热学以及力学性能有重要影响。本项目从微测辐射热计的探测机理出发，通过研究影响探测性能的微桥结构关键参数，提出结构优化方法，降低微测辐射热计的响应时间，为高帧率红外探测系统设计提供思路。为了全面了解微测辐射热计的研究进展，本研究通过查询CNKI中国期刊数据库，收集了近40年来相关文献资料约20篇，并进行了综述。
前言：纵观红外探测器的发展历程，器件越来越趋于集成化，大阵列，小型化，智能化。目前室温红外探测器主要有三种类型:目前室温红外探测器主要有三种类型：微测辐射热计型，热释电型[1]和热电堆型。[2]其中微测辐射热计的工作原理为：目标发出含有自身温度信息的红外线辐射，被红外吸收层吸收，辐射能量转换为热能并引起热敏感电阻区域的温度升高，其电阻值相应发生变化，施加偏置电流就可以从电阻的改变读出电压的改变，从而实现光电交换。微测辐射热计具备较高的响应速度（与热电堆型相比），制作工艺较简单比，不使用斩波器等优点。所以在近几年的发展浪潮中，越来越受到市场的重视，相比于其他类型的探测器，它无需制冷，且制作工艺也相对比较简单；而测辐射热计式红外探测器主要由红外吸收层、热敏电阻、热绝缘结构、支撑基底四部分组成[3]。从Honeywell发布首款微测辐射热计式红外探测器至今，微测辐射热计式红外探测器长期采用的是下面图1-1的微桥结构.其基本结构包括:硅基读出电路,Al反射层，1/4波长共振腔，桥柱，桥腿，桥面。
图1-1
然而，由于大阵列化器件的需要，探测元的尺寸要求更小，但是在像元改为小尺寸的同时，会带来感光面积减小的问题，从而导致探测性能的下降，所以我们需要通过改善结构的方式，在采用小尺寸像元的同时，保持其探测性能。
课题研究的国内外发展历程及现状：
微测辐射热计由许多微桥结构组成的像元阵列构成。通常而言，为了提高探测器的响应度和填充率等，一般将微桥结构制作成带有支撑材料层的结构，其特点是微桥结构的焦平面通过长长的桥腿连接到桥墩，再通过桥墩与衬底连通。从热学设计上考虑，这样的好处是可以有效减小结构的热导，降低桥面和衬底之间的热交换，同时也可以起到电学通道与机械支撑的作用[4]。
微桥结构的设计是提高微测辐射热计性能的关键所在，经过长期的发展演变，目前微桥结构的设计主要有三种：早期部分镂空结构、单层结构和双层结构，如图 1-1 所示。
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