文献综述
摘要：本文首先介绍了滚动直线导轨中滑块几何精度检测的重要性，接着介绍了目前滑块端面需要进行检测的参数，然后重点分析了滚道型面的非接触式检测的研究现状，最后提出了更为合理的采用光谱共焦位移传感器的方案。
关键词：滑块 滚道型面 非接触式检测 光谱共焦
1 滑块几何精度检测的重要性
滚动直线导轨的基础是滚动直线导轨副，而运动副的精度主要是由运动副形式和组成运动副的构件决定。精密滚动直线导轨副在机械传动中起到运动部件的承载及运动导向作用，具有结构简单、动静摩擦系数小、定位精度高、精度保持性好等优点，已经成为精密数控设备的关键基础部件之一[1]。滚动直线导轨副一般由导轨、滑块、反向器、滚动体和保持器等组成，它是一种新型的作相对往复直线运动的滚动支承，能以滑块和导轨间的钢球滚动来代替直接的滑动接触，并且滚动体可以借助反向器在滚道和滑块内实现无限循环[2]。当滚动直线导轨副应用于机床时，滑块的振动将会影响被加工工件的精度。导轨副之间的摩擦力会造成导轨副发热，这会直接影响导轨副的使用年限[5]。滚动直线导轨副作为一种精密机械产品，对综合性能和运动精度进行检测具有较大的工程意义[3]。滚动直线滑块作为滚动直线导轨副的一个构件，它的端面几何精度对导轨副的刚性、摩擦力、预紧力、温升性能影响很大[4]。
随着工业的发展 ，滚动直线滑块的需求量越来越大，对其精度的要求也越来越高，而目前工厂中的滑块检测，大型企业多采用三坐标测量仪，三坐标测量仪的检测精度很高，但是成本很高、装夹速度很慢、效率低。而一些小中型企业还采用人工投影法放大比对测量的方法，工作人员利用检测工具对滑块进行测量，然后对滑块是否合格进行估计分类，这种方法存在检测速度慢，效率低，人为因素影响大，严重制约了滑块的生产效率，而且容易受主观因素影响，无法得到精确的数据。因此能有一套自动化检测装置[5]来取代原来的手工操作，就显得非常必要，从而可以自动检测滑块的质量，减轻工人的劳动强度，节省大量的人力、财力、物力，并提高检测的正确率，使产量与检测同步，以提高生产效率和经济效益。
- 滑块端面几何精度检测技术的研究现状
2.1微小尺寸的测量方法
目前对物体外形及变形微小位移的检测方法大致有以下几种：1）机械法：如光学机械法、杠杆测量法、；2）电学法：如电阻法、电容法、电感法等；3）光电法：如干涉法、扫描电镜法等；4）超声测距法。在以上的方法中，机械法属于接触式测量[6]，该种测量方法需要确定适合的基准面，而且探头会对物件表面产生划痕；电学法中的电阻法也属于接触测量，电容法虽为非接触测量，但是量程小、精度低、对北侧工件材料有一定的要求；光电法是一种较为成熟的测量方法，测量分辨力较高（有的方法分辨力可达1nm以下），但是采用光电法原理的测量仪器通常仅适用于计量室环境，不适合工业现场的检测；使用超声波测距的方式虽然有较高的精度，但是需要耦合剂，不适合大尺寸的组件的检测[7]。
2.2滑块的检测参数
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