摘要
射频驱动微等离子体作为一种新兴的微型等离子体源，在材料科学、生物医学、环境工程等领域展现出巨大的应用潜力。
频率作为射频驱动微等离子体的重要参数之一，其调制对等离子体的性质和应用具有显著影响。
本文首先介绍了射频微等离子体的基本概念、特性以及应用背景，接着重点综述了频率对射频驱动微等离子体性质的影响，包括等离子体形态、密度、温度、激发过程等方面的研究进展，并探讨了频率调制在等离子体刻蚀、沉积、生物医学等领域的应用。
最后，总结了频率对射频驱动微等离子体调制作用的研究现状，并展望了未来的发展趋势。
关键词：射频微等离子体；频率调制；等离子体性质；应用研究
近年来，微等离子体技术作为一种新兴的等离子体技术，以其尺寸小、电子密度高、活性粒子丰富、易于集成等优点，在材料科学、生物医学、环境工程等领域展现出巨大的应用潜力[1-3]。
射频驱动微等离子体，是指利用射频电磁场激发和维持的微米/毫米尺度的等离子体，其具有放电稳定、易于控制、对环境污染小等优势，成为当前微等离子体研究领域的热点之一[4-6]。
频率作为射频驱动微等离子体的重要参数之一，其大小和调制方式直接影响着等离子体的性质，例如电子密度、电子温度、活性粒子种类及浓度等，进而影响等离子体与材料/生物组织的相互作用过程，最终决定其在各个领域的应用效果。
因此，研究频率对射频驱动微等离子体的调制作用，对于深入理解射频微等离子体的物理化学过程、优化等离子体参数、拓展其应用领域具有重要的科学意义和应用价值。
2.频率对射频驱动微等离子体性质的影响研究频率作为射频微等离子体的重要参数之一，对等离子体的激发、维持以及性质具有显著影响。
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