摘要
湿度是环境中重要的物理参数之一，对工业生产、农业种植、医疗健康以及科学研究等领域都有着至关重要的影响。
因此，湿度传感器的研究和应用越来越受到重视。
近年来，以ZnO薄膜为敏感材料的电导式湿度传感器因其灵敏度高、响应速度快、制备工艺简单、成本低廉等优点，成为了湿度传感器研究的热点之一。
本文首先介绍了湿度传感器以及ZnO薄膜的背景知识，阐述了ZnO薄膜材料的结构、性质、制备方法以及其在湿度传感领域的应用。
接着，重点概述了ZnO薄膜电导式湿度传感器的研究现状，包括不同制备工艺对ZnO薄膜湿度传感性能的影响、掺杂改性对ZnO薄膜湿度传感性能的影响以及ZnO薄膜湿度传感器的应用。
最后，对ZnO薄膜电导式湿度传感器的发展趋势进行了展望。
关键词：ZnO薄膜；电导式湿度传感器；灵敏度；响应时间；稳定性
#1.1湿度传感器的概述
湿度是空气中水蒸气含量的度量，是环境监测中重要的参数之一。
湿度传感器是一种将环境湿度转换为电信号的装置，其在工业、农业、气象、医疗等领域有着广泛的应用。
根据工作原理的不同，湿度传感器可以分为电阻式、电容式、阻抗式、光学式等多种类型。
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